




真空鍍膜技術(shù)的應用領域
在平板顯示器中
所有各類平板顯示器都要用到各種類型的薄膜,而且,幾乎所有類型的平板顯示器件都需要使用ITO膜,以滿足透明電器的要求。可以毫不夸張的說,沒有薄膜技術(shù),就沒有平板顯示器件。
在太陽能利用方面
當需要有效地利用太陽熱能時,就要考慮采用對太陽光線吸收較多、而對熱輻射等所引起的損耗較小的吸收面。太陽光譜的峰值大約在波長為2-20μm之間的紅外波段。在傳感器方面在傳感器中,多采用那些電氣性質(zhì)相對于物理量、化學量及其變化來說,極為敏感的半導體材料。由于太陽輻射與熱輻射光譜在波段上有差異,因此,為了有效地利用太陽熱能,就必須考慮采用具有波長選擇特性的吸收面。
理想的選擇吸收面,是太陽輻射光譜的波段(可見光波段)吸收率(α)為1,在熱輻射波段(紅外波段)輻射率(ε)為0。
在防偽技術(shù)中
防偽膜種類很多,從使用方法可分為反射式和透射式;從膜系附著方式可以分為直接鍍膜式、間接鍍膜式或間接鍍膜剪貼式。
在飛機防護涂層方面
飛機的鈦合金緊固件,原來采用電鍍方法鍍鎘。但在鍍鎘中含有氫,所以在飛行過程中,受到大氣、海水的腐蝕,鍍層上容易產(chǎn)生“鎘脆”,甚至引起“空難”。
1964年,采用離子鍍方法在鈦合金緊固件上鍍鋁,解決了飛機零件的“鎘脆”問題。在離子鍍技術(shù)中,由于給工件施加負偏壓,可以形成“偽擴散層”、細化膜層組織,因此,可以顯著提高膜層的耐腐蝕性能。
在光學儀器中
人們熟悉的光學儀器有望遠鏡、顯微鏡、照相機、測距儀,以及日常生活用品中的鏡子、眼鏡、放大鏡等,它們都離不開鍍膜技術(shù),鍍制的薄膜有反射膜、增透膜和吸收膜等幾種。
在信息存儲領域中
薄膜材料作為信息記錄于存儲介質(zhì),有其得天獨厚的優(yōu)勢:
由于薄膜很薄,可以忽略渦流損耗;磁化反轉(zhuǎn)極為迅速;與膜面平行的雙穩(wěn)態(tài)狀態(tài)容易保持等。
為了更精密地記錄與存儲信息,必然要采用鍍膜技術(shù)。
在傳感器方面
在傳感器中,多采用那些電氣性質(zhì)相對于物理量、化學量及其變化來說,極為敏感的半導體材料。此外,其中,大多數(shù)利用的是半導體的表面、界面的性質(zhì),需要盡量增大其面積,且能工業(yè)化、低價格制作,因此,采用薄膜的情況很多。
在集成電路制造中
晶體管路中的保護層(SiO2、Si3N4)、電極管線等,多是采用CVD技術(shù)、PVCD技術(shù)、真空蒸發(fā)金屬技術(shù)、磁控濺射技術(shù)和射頻濺射技術(shù)。可見,氣相沉積是制備集成電路的核心技術(shù)之一。
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真空抽不上去的原因
1、漏率偏高就是我們通常所說的漏氣;.
2、真空機組的抽氣能力不夠了,油被污染或氧化了:
3、真空室內(nèi)太臟放氣;
4、真空室內(nèi)有漏水;
5、真空管道有漏氣;.
6、或者是以上幾種可能都有。
出現(xiàn)問題首先是要判斷,是不是拆卸過東西,是不是漏水?閥門打開了嗎?根據(jù)現(xiàn)象判斷原因,然后再去根據(jù)判斷找問題,可能會收到事半功倍的效果。
養(yǎng)成良好的衛(wèi)生習慣
相比以前我們廠的設備是灰塵滿面、油漬不堪。也許很多人都認為,設備只要正常運轉(zhuǎn)就可以了,搞得再干凈也是做表面工作。我可是這樣認為的,一個人連表面工作都作不來,那真的還有內(nèi)在、實在的工作嗎?當然設備和設備周圍的灰塵、油污對設備的本身的影響也是相當之大的。射流后碰上由冷卻水冷卻的泵壁,凝結(jié)為液體,流回蒸發(fā)器,即靠油的蒸發(fā)——噴射——凝結(jié),重復循環(huán)來實現(xiàn)抽氣的?;覊m能產(chǎn)生靜電,損壞電子元件;油污能使電線、水管硬化開裂,造成一些意想不到的問題出現(xiàn)。特別我們使
用的真空設備,還有它本身的特殊性。真空設備講究的是-一個真空清潔度,真空清潔度越差,放氣性就越大。這樣使設備抽到較高的真空度所需的時間就越長。
或者根本就無法抽到。這樣一來就減少我們的產(chǎn)量,二來影響到了我們的產(chǎn)品的質(zhì)量。
現(xiàn)代真空鍍膜機膜厚測量及監(jiān)控方法
涂層的鍍膜機控制方法是直接的石英晶體微天平(QCM)的方法,該儀器可以直接驅(qū)動的蒸發(fā)源,通過PID控制回路傳動擋板,使蒸發(fā)率。只要儀器和系統(tǒng)控制軟件的連接,它可以控制涂層的全過程。擴散泵底部內(nèi)儲存有擴散泵油,上部為進氣口,右側(cè)旁下部為出氣口,在工作時出氣口由機械泵提供前置壓強,機械泵充當前置泵。但(QCM)的準確性是有限的,鍍膜機部分原因是其監(jiān)測代替光學厚度的涂層質(zhì)量。
此外,雖然QCM在低溫下非常穩(wěn)定,但溫度高,它將成為對溫度很敏感。在長時間的加熱過程中,鍍膜機很難避免傳感器為敏感的區(qū)域,導致薄膜的重大錯誤。 光學監(jiān)測是一種涂層優(yōu)選的監(jiān)控模式,鍍膜機這是因為它能準確控制膜的厚度(如果使用得當)。
精度的提高,由于許多因素,但根本的原因是光學厚度的監(jiān)測。optimalswa-i-05單一波長的光學監(jiān)測系統(tǒng),是間接控制,鍍膜機先進的光學監(jiān)測軟件結(jié)合王博士的發(fā)展,有效地改善和靈敏度變化的光反應的膜厚度的減少終的誤差的理論方法,提供監(jiān)測波長的反饋或傳輸模式的選擇和廣泛的。以上是由艾明坷科技有限公司發(fā)表內(nèi)容,如有需要,歡迎新老客戶蒞臨。特別適用于涂布各種薄膜厚度監(jiān)控包括不規(guī)則的膜。
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